关于光刻技术浅述的问题(关于光刻技术浅述)

1个掩模对准器

最近身边的朋友都在如火如荼的谈论光刻机。什么是光刻机?用在什么地方,有什么作用?让让我们看看下面的解释吧!

经常听人说7纳米光刻机和5纳米光刻机,但严格来说,没有7纳米光刻机和5纳米光刻机。我为什么这么说?

首先,我们要搞清楚什么是光刻机。光刻技术是利用光刻机发出的光穿过带有图案的掩模,对涂有光刻胶的薄膜进行曝光。光刻胶见光后,其性质会发生变化,从而可以将掩膜上的图案复制到薄膜上,薄膜可以充当电子电路图。

2平版印刷

简单来说,光刻就是制造芯片制作所需的电路和功能区域,类似于投影仪,但光刻扔的不是照片,而是电路图和其他电子元件。光刻的好坏直接决定了芯片是否可用,而这里最重要的是光源。光刻机的所有核心部件都是围绕光源开发的,所以根据光源的改进,光刻机可以分为五代,即最早的336 nm光刻机、第二代365 nm波长光刻机、第三代248 nm波长EUV光刻机、第四代193 nm波长光刻机和第五代13.5 nm波长光刻机。

3张双人桌

什么是双人工作台?一个工作台曝光晶片,而另一个工作台执行预对准。两个工作台相互独立,同时运行,生产效率可提高35%左右,精度可提高10%以上。

目前,我国已经能够批量生产第四代扫描投影式光刻机。如果使用套印精度在1.9 nm左右的工作台,可以在多次曝光下实现11 nm工艺技术的芯片生产。如果使用套印精度更好的1.7 nm国产华卓精科工作台,在多次曝光下,7 nm工艺技术的芯片生产就更能实现。所以准确的说,7 nm光刻机和5 nm光刻机的说法是不准确的,正确的应该是7 nm工艺和5 nm工艺。因此,唐想不到90 nm到7 nm的距离很远,渐进式光源带来的改变会是革命性的。中国芯片产业的主要问题不在于

前面的道路艰难而漫长。只有坚持,才能创造历史。林恩