它是光刻机芯片制造的核心设备之一。目前有生产用的光刻机，LED制造用的光刻机，封装用的光刻机。掩模光刻机采用类似于照片印刷的技术，然后通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。
光刻机在加工芯片的过程中，通过一系列光源能量和形状控制手段，使光束透过带有电路图的掩模，通过物镜补偿各种光学误差，按比例缩小电路图，映射到硅片上，再用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。
光刻机也是芯片行业最有价值、技术难度最大的机器。制造一台高端光刻机需要上亿元。
审计姚远
它是光刻机芯片制造的核心设备之一。目前有生产用的光刻机，LED制造用的光刻机，封装用的光刻机。掩模光刻机采用类似于照片印刷的技术，然后通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。
光刻机在加工芯片的过程中，通过一系列光源能量和形状控制手段，使光束透过带有电路图的掩模，通过物镜补偿各种光学误差，按比例缩小电路图，映射到硅片上，再用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。
光刻机也是芯片行业最有价值、技术难度最大的机器。制造一台高端光刻机需要上亿元。
审计姚远
