射频发生器也称为射频发生器。一种用于在电感耦合等离子体原子发射光谱/质谱中产生等离子体炬的装置。产生的高频电流送入电感线圈，激发应时炬管(置于线圈中)中的氩气，形成等离子炬。
有两种类型的自激和他激(晶体控制)振荡器。振荡频率为3 ~ 50 MHz，通常为27.12MHz和40.68MHz，输出功率为0.7 ~ 7 kW，通常为1.0 ~ 2.0 kW。
高频发生器特点1、高频发生器体积小，重量轻，更美观，更可靠，操作简单，功能齐全，便于野外使用，是新世纪最理想最可靠的产品。
2、高频发生器采用先进的技术和制造工艺，应用脉冲串逻辑阵列调制，采用大功率IGBT器件，利用高频技术将频率提高到100kHz，从而使输出高压稳定性更高，鲍文系数更小。
3、高频发生器测量更精确。高频发生器解决了许多电子精度低、测量不准确的问题。高频发生器的电压和电流都是数字的，电压分辨率为0.1kv，电流分辨率为0.1 UA。控制箱上的电压表直接显示施加在负载样品上的电压值，所以很容易连接。
高频发生器的作用是输入一定范围的电源电压后，高频发生器产生一个2.65MHZ的高频恒定电压，送到功率耦合器。功率耦合器在玻璃灯泡的放电空间中建立静电强磁场，电离放电空间中的气氛，并产生强紫外光。玻璃灯泡内壁的三基色荧光粉被强紫外光激发发光。在电源的设计上，APFC功率控制技术和IC技术使电源的功率因数高达0.95以上。另一方面，高频发生器总是以高频和恒定电压发光。因此，当输入电源电压在一定范围内波动时，其发光亮度不会发生变化。
高频发生器要求1、高频牛发生器振荡频率一般为27.12MHz或40.68MHz，输出功率一般为1 ~ 1.5kW。
2、入射功率越小越好，一般小于10W。
3、要求高频发生器的输出功率具有优良的稳定性，因为输送给ICP的功率只要漂移0.1%，发射强度的变化就可以超过1%。因此，高频发生器的功率变化必须小于0.05%。
4、高频发生器应有良好的接地装置。接地电阻越小越好。一般不超过4为宜。
